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冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B
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所属类别:冈本半导体设备
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  • 产品概述

设备特点

1.研削加工技术:日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

2.机械精度的调整方法:通过主轴进行调整(*有),因为可进行原点定位,所以精度调整相当*;可2处调节。

3.标准驱动方式:齿轴+定位销进行定位,长年使用也不会发生位移。

4. 标准润滑方式:润滑油及防护罩,防止进入异物造成磨损。

5.  设备刚性:高刚性,不会因老化造成精度变化,部件由冈本自产铸金一体化生产。


规格参数

项目

参数

规格

GNX200B

最大加工直径

Ф200㎜

主轴转速范围

0~3600rpm

主轴驱动电机功率

2.2kW/4kW

主轴进给速度范围

1~999μm/min

主轴数

2

工作盘转速范围

1~300rpm

研磨轮尺寸

Ф250㎜

设备整重

3900kg