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冈本OKAMOTO GNX200BH SiC碳化硅/GaN氮化镓晶圆减薄机
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所属类别:冈本半导体设备
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  • 产品概述

设备特点

适用于硬质材质减薄:

1、GNX200BH是一台可研磨超硬材料的全自动减薄设备,采用大功率主轴和高刚性铸件,可以大幅缩小加工公差。

2、GNX200BH在应对SiC碳化硅晶圆、GaN氮化镓晶圆等新型坚硬材料为原材料的晶圆减薄/研磨/研削时表现优秀。


项目

参数

主轴

双研磨主轴

工作盘

三个工作盘

晶圆材质

碳化硅、氮化镓、硅、玻璃、微机械系统、等…

功率

6.7KW 8P

尺寸

1350 mm x 2515mm x 1841mm