设备概要

SPP-600S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有*特的软件和触摸屏，使用操作方便。

设备构成

1. 抛光头：

    一个定盘，两个抛光头同时工作，可实现高的吞吐量；

    可独立编程（包括转速）并单独控制每个抛光头；

    夹紧机构为真空吸附固定或利用晶圆表面张力进行固定；

    装备有保护圈以*均匀性和边缘轮廓；抛光压力基于实时监控；

    具有摆动功能；

2. 定盘：水冷系统可*稳定运行

3. 修整主轴：装有*修整头；修整压力靠头的自重；

4. 外壳：全密封；安全互锁门；

5. 触摸屏：9.5 寸全彩屏；GUI 操作面板；4 级程序控制；

6. 供液单元：使用罗拉泵可实现稳定供液。

设备指标